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無掩膜光刻技術(shù)（激光直寫）激光直寫技術(shù)是一種無掩模、適用面廣、性價比高的微納米加工手段，目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用于微機電系統(tǒng)、掩模板、微流控、微納光學(xué)器件、超材料等微納米制造領(lǐng)域。
05-15 2023
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薄膜應(yīng)力及翹曲度測量的基本原理薄膜應(yīng)力的產(chǎn)生在硅片等基板上鍍膜時，鍍膜一般為升溫過程，當基板冷卻后由于基板和薄膜的熱膨脹系數(shù)不同，導(dǎo)致薄膜產(chǎn)生拉伸或壓縮，產(chǎn)生彎曲，從而產(chǎn)生應(yīng)力。為什么要監(jiān)控薄膜應(yīng)力對于工藝工具的監(jiān)測，優(yōu)化和匹配以實現(xiàn)產(chǎn)量最大化，需要對關(guān)鍵薄膜層進行應(yīng)力測量。CVD/PVD機臺調(diào)試···
03-03 2023
