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測(cè)試服務(wù)

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電阻率/方塊電阻測(cè)量(電阻率/方塊電阻/晶圓TTV)
時(shí)間:2024-10-30 15:40:54 點(diǎn)擊次數(shù):21

設(shè)備品牌:E+H Metrology

型號(hào):MX 608


主要技術(shù)參數(shù):

測(cè)量原理:渦流非接觸測(cè)量(電阻率),電容法(厚度)

電阻率范圍:1 mΩ?cm-200 Ω?cm

方塊電阻:1mΩ/sq-4000 Ω/sq

樣品臺(tái):200mm×200mm


主要用途:

用于測(cè)量SiC,Si襯底厚度/TTV及電阻率、金屬薄膜電阻率/方塊電阻。

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