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設(shè)備品牌：Filmetrics

型號(hào)：F50-UVX

主要技術(shù)參數(shù)：

波長：190-1700nm

膜厚測量范圍：10nm-100um

樣品尺寸：8寸及以下

主要用途：

用于測量光刻膠、SiO2、SiNx、ITO等各類薄膜的反射率和薄膜厚度mapping。