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13651773242
產(chǎn)品名稱：汞探針CV測(cè)試儀
品牌：Four Dimensions（4D）
型號(hào)：CVMap 92A
關(guān)鍵詞標(biāo)簽：摻雜濃度、汞探針，CV
一、簡(jiǎn)介
美國(guó)Four Dimensions,Inc, 簡(jiǎn)稱“4D”，成立于1978年，位于美國(guó)加州硅谷的Hayward, 4D公司專注于四探針設(shè)備和汞探針CV測(cè)試儀的生產(chǎn)和銷售，累計(jì)銷量達(dá)1000臺(tái)以上，遍布世界各大半導(dǎo)體Fab化合物半導(dǎo)體企業(yè)，大學(xué)及科研機(jī)構(gòu)。CVmap系統(tǒng)使用獨(dú)特設(shè)計(jì)的汞探頭直接在未金屬化的晶圓上進(jìn)行電容-電壓（CV）和電流-電壓（IV）測(cè)量。
二、技術(shù)規(guī)格
摻雜濃度測(cè)試范圍為1E14 – 1E19/cm3。
樣品尺寸：尺寸2~8英寸。
測(cè)試點(diǎn)數(shù)：可以滿足200個(gè)點(diǎn)的測(cè)試。
用于測(cè)試導(dǎo)電襯底、絕緣襯底和高阻襯底的外延的參雜濃度。
探頭為點(diǎn)狀探頭和點(diǎn)環(huán)狀結(jié)構(gòu)。
換汞頻率在半年至一年，依賴于使用的頻率。
三、應(yīng)用
用于測(cè)試各類導(dǎo)電襯底、絕緣襯底和高阻襯底的外延的摻雜濃度。
