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產(chǎn)品名稱(chēng)：四探針測(cè)試儀

品牌：Four Dimensions（4D）

型號(hào)：280SI/333A

關(guān)鍵詞標(biāo)簽：方塊電阻、四探針、電阻率

一、簡(jiǎn)介

美國(guó)Four Dimensions,Inc, 簡(jiǎn)稱(chēng)“4D”，成立于1978年，位于美國(guó)加州硅谷的Hayward, 4D公司專(zhuān)注于四探針設(shè)備和CV測(cè)試儀的生產(chǎn)和銷(xiāo)售，累計(jì)銷(xiāo)量達(dá)1000臺(tái)以上，遍布世界各大半導(dǎo)體Fab, 太陽(yáng)能光伏企業(yè)，大學(xué)及科研機(jī)構(gòu)，“4D”更是儼然已成為四探針的代名詞。

二、技術(shù)規(guī)格

測(cè)量尺寸：晶圓尺寸：2-8寸（333系列可測(cè)量至12寸晶圓）

測(cè)量范圍： 0.001Ω/sq 至 800000Ω/sq（標(biāo)準(zhǔn)型）；

可往下擴(kuò)展至：0.0001Ω/sq，往上擴(kuò)展至8E9或8E11Ω/sq。

測(cè)量方式：電腦程序自動(dòng)測(cè)量，或不連電腦單測(cè)量主機(jī)也可實(shí)現(xiàn)測(cè)量和數(shù)據(jù)顯示，此時(shí)非常適合測(cè)試不規(guī)整樣片單點(diǎn)測(cè)量，適合實(shí)際研究需要。

測(cè)量的數(shù)據(jù)：方塊電阻/電阻率/薄膜厚度，根據(jù)具體應(yīng)用可以設(shè)置不同測(cè)量程序。

測(cè)量的點(diǎn)數(shù)：程序編排任意測(cè)量點(diǎn)位置及測(cè)量點(diǎn)數(shù)量，對(duì)應(yīng)不同客戶(hù)不同測(cè)量要求任意編程測(cè)量點(diǎn)位置與數(shù)量。

測(cè)量的精確度：<0.1% （標(biāo)準(zhǔn)模阻）；

測(cè)量重復(fù)性：<0.2% （特定片子）；

測(cè)量速度：>45點(diǎn)/分鐘；

測(cè)量數(shù)據(jù)處理：根據(jù)需要顯示2D，3D數(shù)值圖，或按要求統(tǒng)計(jì)并輸出Excel格式文件；

邊緣修正：具有邊緣修正功能，即片子邊緣3mm以?xún)?nèi)區(qū)域都能測(cè)量；

探針壓力可調(diào)范圍：90-200克之間可調(diào)；

可供選擇的探頭類(lèi)型：根據(jù)測(cè)試不同工藝要求有A, B,K, M, N等相關(guān)型號(hào)探頭選擇。

三、應(yīng)用

應(yīng)用于金屬鍍膜和擴(kuò)散，離子注入等摻雜工藝監(jiān)控調(diào)試，薄膜電阻率或厚度測(cè)量等工序。