服務(wù)熱線
13651773242
產(chǎn)品名稱：薄膜應(yīng)力測試儀
品牌：FSM
型號(hào)：128NT/128L/500TC
關(guān)鍵詞：薄膜應(yīng)力，Stress，Bow
一、簡介
美國Frontier Semiconductor, 簡稱“FSM”，F(xiàn)SM為半導(dǎo)體、LED、太陽能、FPD、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和MEMS應(yīng)用提供一系列先進(jìn)的計(jì)量產(chǎn)品和解決方案。在應(yīng)力測量、薄膜附著力測試、晶圓形貌計(jì)量和電氣表征方面擁有超過25年的經(jīng)驗(yàn)。其率先推出基于商業(yè)化應(yīng)用的激光掃描光學(xué)杠桿（Optilever）技術(shù)，主要應(yīng)用于薄膜應(yīng)力和晶圓彎曲測量。
二、技術(shù)規(guī)格
FSM 128NT-8寸，F(xiàn)SM 128L-12寸
FSM 500TC-8寸，500℃
FSM 500TC 300-12寸，500℃
650nm及780nm雙激光自動(dòng)切換
測量點(diǎn)位數(shù)：每毫米大于40點(diǎn)
2D/3D結(jié)果顯示
不帶圖案和帶圖案晶圓同樣適用。
三、應(yīng)用
應(yīng)用于晶圓PVD和CVD各類鍍膜應(yīng)力和Bow測試。
