產(chǎn)品時(shí)間：2023-03-13 14:13:58
簡(jiǎn)要描述：
產(chǎn)品名稱：接觸式DUV曝光裝置品牌：LTJ型號(hào)：WEX-193MCE關(guān)鍵詞：ArF、KrF、接觸曝光一、簡(jiǎn)介 LTJ公司成立于1993年10月，提供光刻領(lǐng)域所需的技術(shù)和產(chǎn)品，為DUV光刻膠研發(fā)及驗(yàn)證提供低成本解決方案。WEX-193MCE是一款實(shí)驗(yàn)型接觸式ArF曝光裝置，并且可以拓展KrF光源。二、技術(shù)規(guī)格 &nb...
產(chǎn)品名稱：接觸式DUV曝光裝置
品牌：LTJ
型號(hào)：WEX-193MCE
關(guān)鍵詞：ArF、KrF、接觸曝光
一、簡(jiǎn)介
LTJ公司成立于1993年10月，提供光刻領(lǐng)域所需的技術(shù)和產(chǎn)品，為DUV光刻膠研發(fā)及驗(yàn)證提供低成本解決方案。WEX-193MCE是一款實(shí)驗(yàn)型接觸式ArF曝光裝置，并且可以拓展KrF光源。
二 、技術(shù)規(guī)格
基板尺寸：4寸
Mask尺寸：5寸
曝光載臺(tái)
光源：ArF 193nm（KrF 248nm可選）
CD解析度：200nm
三、應(yīng)用
適用于DUV光刻膠研發(fā)及驗(yàn)證。
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