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13651773242
產(chǎn)品名稱：臺階儀
品牌：Bruker
型號：Dektak XT
關(guān)鍵詞標(biāo)簽：臺階儀，探針式輪廓儀
一、簡介
DektakXT?探針式輪廓儀采用革命性的臺式設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn) 4? （0.4nm） 的無與倫比的重復(fù)性，掃描速度可提高 40%。探針式輪廓儀性能的這一重大里程碑是 Dektak? 五十多年創(chuàng)新和行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)地位的頂峰。DektakXT 結(jié)合了行業(yè)第一的技術(shù)和設(shè)計(jì)，可提供極致的性能、易用性以及價值，實(shí)現(xiàn)從研發(fā)到質(zhì)量控制的更好過程監(jiān)控。DektakXT 的技術(shù)突破為微電子、半導(dǎo)體、太陽能、高亮度 LED、醫(yī)療和材料科學(xué)行業(yè)的關(guān)鍵尺寸的納米級表面測量提供支持。
1、采用成熟的 LVDT 傳感器，保證數(shù)據(jù)重復(fù)性和可靠性。
2、 1-15mg探針加載力可調(diào)（可擴(kuò)展到更小測力）。
3、超平掃描平臺。
4、頂視光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)，彩色 CCD 180x 放大倍率。
5、XY移動載物臺，X≥100mm 行程,Y≥100mm 行程（可選配6寸電動樣品臺）。
6、完善強(qiáng)大的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)。
二、技術(shù)規(guī)格
技術(shù)測量 | 探針式表面輪廓測量 |
樣品觀測 | 彩色 CCD 180x 放大倍率 |
探針傳感器 | 低慣量傳感器（LIS 3） |
測量力 | 1-15mg可調(diào)（可選更小測力 0.03 to 15mg） |
探針選型 | 探針曲率半徑2μm，夾角60° |
平臺移動范圍X/Y | 手動 100mm(4 英寸)X/Y，手動調(diào)平 電動 150mm (6 英寸)X/Y，手動調(diào)平 |
樣品R-θ載物臺 | 手動360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)（可選配電動360°旋轉(zhuǎn)） |
單次掃描長度 | 55mm（可拼接至200mm） |
最大樣品厚度 | 50mm |
載物臺最大晶圓尺寸 | 200mm（8英寸） |
臺階高度重復(fù)性 | 5 ? |
傳感器量程 | 1mm |
垂直分辨力 | 1 ?（@6.55um） |
三、應(yīng)用
臺階儀廣泛應(yīng)用于：大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備。
用于測量臺階高度、粗糙度、紋理、翹曲和形狀等。
