用于重樣品與標(biāo)準(zhǔn)300mm尺寸大樣品的針尖掃描型原子力顯微鏡

標(biāo)準(zhǔn)AFM系統(tǒng)
300 mm x 300 mm 標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)
適合重至45kg樣品

Nanosurf是重型樣品和大型樣品的客戶(hù)定制原子力顯微鏡系統(tǒng)的專(zhuān)業(yè)解決方案提供者。二十幾年來(lái)，我們的研發(fā)團(tuán)隊(duì)為眾多客戶(hù)開(kāi)發(fā)了定制化的原子力顯微鏡系統(tǒng)，積累了豐富的定制化經(jīng)驗(yàn)。

基于這些豐富的知識(shí)與積累，我們開(kāi)發(fā)了適用于標(biāo)準(zhǔn)300mm尺寸的大樣品或大45千克的重樣品的標(biāo)準(zhǔn)化原子力顯微鏡系統(tǒng)。與客戶(hù)定制化系統(tǒng)相比，Alphacen 300大大降低了價(jià)格和交貨時(shí)間。

大樣品

Alphacen 300型原子力顯微鏡系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)載物臺(tái)XY軸可移動(dòng)300 mm x 300 mm，可測(cè)量300 mm樣品上的每個(gè)點(diǎn)。根據(jù)需要，我們還可以修改載物臺(tái)到更大的X方向移動(dòng)范圍（大500mm）。

XY樣品臺(tái)移動(dòng)馬達(dá)的分辨率小于1 μm，重復(fù)定位精度為2 μm，從而可以將樣品需要測(cè)量的位置精確定位在針尖下方。

該軟件的集成自動(dòng)化功能可節(jié)省時(shí)間，對(duì)測(cè)量系列進(jìn)行預(yù)編程。

 掃描尺寸:

1.5 μm x 1.5 μm
掃描顯示大臺(tái)階之間的層高度是1.5 nm，大和小臺(tái)階之間的層高度是0.75 nm半層。

掃描尺寸:

5 μm x 5 μm
表面粗糙度: 0.112 nm RMS (0.087 nm Ra)