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產(chǎn)品名稱：橢偏儀
品牌：頤光Eoptics
型號：SE-VM
關鍵詞標簽：橢偏儀、膜厚、n&k
一、簡介
SE-VM 是一款超高精度快速測量光譜橢偏儀，其采用自主研發(fā)的橢偏創(chuàng)新技術，具備 1 雙旋轉補償器同步控制技術，2 透明基底消背反技術 等領先技術。快速實現(xiàn)光學參數(shù)薄膜和納米結構的表征分析，適用于薄膜材料的快速測量表征。支持多角度，微光斑，可視化調(diào)平系統(tǒng)等高兼容性靈活配置，多功能模塊定制化設計。
二、技術規(guī)格
光譜范圍：380-1000nm（190-1650nm可擴展）
入射角：55/60/65/70/75°(斜入射，手動變角)，90°(直通模式)
光斑大小：微光斑200μm
膜厚重復性測量精度：優(yōu)于0.01nm（100nm 硅基SiO2薄膜，30次，1σ）
折射率重復性測量精度：優(yōu)于0.0005（100nm 硅基SiO2薄膜，30次，1σ）
膜厚測量范圍：0.5nm-15μm
單點測量時間：0.5-5s
光源：高性能進口鹵素燈光源（工作壽命：2,000h）
樣品尺寸：最大支持樣件尺寸到Ф200mm
三、應用
廣泛應用于鍍膜工藝控制、tooling校正等測量應用,實現(xiàn)光學薄膜、納米結構的光學常數(shù)和幾何特征尺寸快速的表征分析。
