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產品名稱：晶圓厚度/電阻率測試儀
品牌：E+H Metrology
型號：MX604-ST
關鍵詞：電阻率，厚度
一、簡介
德國 E+H Metrology，簡稱E+H，成立于1968年，位于德國卡爾斯魯厄。E+H專注于半導體行業(yè)、微電子、機械工程等領域表面量測設備定制化開發(fā)。厚度和電阻率測量儀組合，MX604-ST配置了同時測量厚度和電阻率的傳感器，用于2“ 至 200mm 的晶圓電阻率和厚度測量。
二、技術規(guī)格
晶圓直徑：50-200 mm
厚度范圍：250-750 μm
厚度準確性：±1 μm
探頭直徑：20mm
有效區(qū)域：8 mm ?
測試時間：0.3s
方塊電阻：10-2000Ω/sq
電阻率范圍：
0.25 – 50 Ohm?cm (thk.= 250μm)
0.75 – 150 Ohm?cm (thk. = 750μm)
三、應用
用于硅片及SiC等晶圓的厚度和電阻率測量。
