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13651773242
產(chǎn)品名稱：自動(dòng)mapping膜厚儀
品牌：頤光Eoptics
型號(hào)：SR-Mapping
關(guān)鍵詞標(biāo)簽：mapping膜厚儀、反射率、n&k
一、簡(jiǎn)介
SR-Mapping 系列利用反射干涉的原理進(jìn)行無(wú)損測(cè)量，通過(guò)分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜，同時(shí)搭配R-Theta位移臺(tái)，兼容6到12寸樣品，可以對(duì)整個(gè)樣品進(jìn)行快速掃描，快速準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息，并對(duì)于膜厚均勻性做出評(píng)價(jià)。
二、技術(shù)規(guī)格
測(cè)量參數(shù)：反射率、膜厚、n&k等參數(shù)
波長(zhǎng)：380-1000nm（可擴(kuò)展190nm-1650nm）
膜厚范圍：15nm-70μm
測(cè)量時(shí)間：5點(diǎn)5s，25點(diǎn)14s，56點(diǎn)26s
重復(fù)性測(cè)量精度：<0.05nm
測(cè)量精度：0.2%或2nm取較大值
光斑尺寸：標(biāo)準(zhǔn)光斑1.5mm
樣品臺(tái)尺寸：標(biāo)配8寸（12寸可選）
三、應(yīng)用
廣泛應(yīng)用于各種介質(zhì)膜、光刻膠等有機(jī)薄膜、無(wú)機(jī)薄膜、金屬膜、涂層等薄膜厚度mapping及均一性測(cè)量。
