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產品名稱：膜厚儀
品牌：頤光Eoptics
型號：SR-C
關鍵詞標簽：膜厚儀、反射率、n&k
一、簡介
SR-C 系列緊湊型高精度反射膜厚儀，利用光學干涉原理，通過分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜，快速準確測量薄膜厚度、光學常數(shù)等信息。
二、技術規(guī)格
測量參數(shù)：反射率、膜厚、n&k等參數(shù)
波長：380-1000nm（可擴展190-1650nm）
分辨率：<0.8nm@240-1000nm，<3.5nm@1000-1700nm
膜厚范圍：15nm-70μm
單次測量時間：<1s
重復性測量精度：<0.02nm
測量精度：0.2%或2nm取較大值
光斑尺寸：標準1.5mm
樣品臺尺寸：標配6寸（12寸可選）
三、應用
廣泛應用于各種介質膜、光刻膠等有機薄膜、無機薄膜、金屬膜、涂層等薄膜測量。
