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13651773242
產(chǎn)品名稱：顯微膜厚儀
品牌：頤光Eoptics
型號(hào)：SR-M
關(guān)鍵詞標(biāo)簽：顯微膜厚儀、反射率、n&k
一、簡(jiǎn)介
SR-M 針對(duì)特定微小區(qū)域，可提供微米級(jí)的聚焦光斑，同時(shí)利用顯微物鏡定位測(cè)量點(diǎn)，從而獲取精準(zhǔn)位置的厚度表征結(jié)果。利用光學(xué)干涉原理，通過(guò)分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射譜，快速準(zhǔn)確測(cè)量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)等信息。
二、技術(shù)規(guī)格
測(cè)量參數(shù)：反射率、膜厚、n&k等參數(shù)
波長(zhǎng)：380-900nm
分辨率：<1nm
膜厚范圍：20nm-50μm
單次測(cè)量時(shí)間：<1s
重復(fù)性測(cè)量精度：<0.05nm
測(cè)量精度：0.2%或2nm取較大值
物鏡倍率：5X,10X,20X,50X,100X倍可選
光斑尺寸：4-100μm
三、應(yīng)用
廣泛應(yīng)用于各種介質(zhì)膜、光刻膠等有機(jī)薄膜、無(wú)機(jī)薄膜、金屬膜、涂層等薄膜測(cè)量。
