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| 類型 | 光刻膠型號 | 厚度范圍 | 分辨率 | 適用工藝 | |
電子束光刻膠 | HSQXR | 85nm~180nm | 6nm | 高分辨率負膠，抗刻蝕 | |
| Z520 | 0.05-1 | 10-50nm | 高分辨率電子束正膠,抗刻蝕 | ||
| EBL 6000 | 0.1-1.5 | 50nm | 負性電子束光刻膠 | ||
| ma-N2400 | 0.1-1.5 | 30nm | 負性電子束光刻膠 | ||
產(chǎn)品時間：2021-05-20 19:47:18
簡要描述：
類型光刻膠型號厚度范圍分辨率適用工藝電子束光刻膠HSQXR85nm~180nm6nm高分辨率負膠，抗刻蝕Z5200.05-110-50nm高分辨率電子束正膠,抗刻蝕EBL 60000.1-1.550nm負性電子束光刻膠ma-N24000.1-1.530nm負性電子束光刻膠...
| 類型 | 光刻膠型號 | 厚度范圍 | 分辨率 | 適用工藝 | |
電子束光刻膠 | HSQXR | 85nm~180nm | 6nm | 高分辨率負膠，抗刻蝕 | |
| Z520 | 0.05-1 | 10-50nm | 高分辨率電子束正膠,抗刻蝕 | ||
| EBL 6000 | 0.1-1.5 | 50nm | 負性電子束光刻膠 | ||
| ma-N2400 | 0.1-1.5 | 30nm | 負性電子束光刻膠 | ||
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