SU8是一種用于制作高深寬比精細(xì)結(jié)構(gòu)的負(fù)性光刻膠,具有良好的機(jī)械性能、申絕緣性、抗化學(xué)腐蝕性、熱穩(wěn)定性、疏水性及極佳的生物兼容性??捎酶芍谱骷?xì)胞培養(yǎng)及篩選芯片、分子診斷芯片等生物芯片的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)。由于具有較多優(yōu)點(diǎn),SU-8膠被應(yīng)用于MEMS、芯片封裝和微加工等領(lǐng)域。目前,直接采用SU8光刻膠來制備深寬比高的微結(jié)構(gòu)與微零件已經(jīng)成為微加工領(lǐng)域的一項(xiàng)新技術(shù),在微流控芯片加工中,SU-8還可以應(yīng)用于PDMS微流芯片模具.