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光刻膠

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底膠 AZ Barli

產(chǎn)品時間：2021-05-20 10:32:18

簡要描述：

在襯底和光刻膠膜之間的做抗反射層(底層抗反射涂層，BARC)使從襯底反射的光強度最小化，從而使與干擾相關(guān)的sin^2光強度分布的振幅最小化。AZ BARLi II有兩種厚度等級（90納米和200納米），便于在第一或第二反射率最小值處確定薄膜厚度。...

詳細(xì)介紹

在襯底和光刻膠膜之間的做抗反射層(底層抗反射涂層，BARC)使從襯底反射的光強度最小化，從而使與干擾相關(guān)的sin^2光強度分布的振幅最小化。

AZ BARLi II有兩種厚度等級（90納米和200納米），便于在第一或第二反射率最小值處確定薄膜厚度。

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